高レベルの金属シリコン金属

溶媒で残留物を溶解、蒸発させ、溶かすことによりサンプルを調製する方法は、サンプル調製のために金属シリコンを直接融解する問題を解決します。それは、さまざまな不純物要素を同時に決定できるようにしますシリコンメタル、マトリックス効果の影響を排除し、測定に対する標準サンプルの制限を克服し、幅広い測定範囲と高精度を持っています。サンプルの準備条件は、直交実験を手配することにより決定されました。

1.の酸洗浄における後続のプロセスの難しさを減らすためにシリコンメタル、金属シリコンの浄化のために、成熟した室温酸洗浄技術に新しい湿った酸化技術が追加されます。酸洗浄の主な機能は、金属シリコン粒子の表面に露出した金属不純物のほとんどを除去することです。濡れた酸化の後、粒子の内部構造（シリコンおよびシリカ系）に小さな凝縮係数があるホウ素は、高温でシリカに拡散し、次に酸化物層とその中に含まれる不純物がエッチングしています。実験では、この方法がホウ素の不純物に有意な精製効果があり、精製後にホウ素の不純物含有量は4×10^-6という低いことを示しています。 2つのテクノロジーは、プロセスの観点から互換性があり、精製目標が補完的であるため、非常に効果的な低エネルギーおよび低コストの浄化方法となっています。

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