ヘンリー・エディン・セント・クレア・デビルとフリードリッヒ・ヴェーラーは、1857年に最初に窒化シリコンの合成を報告した。彼らが報告した合成方法では、シリコンを含むるつぼを炭素で満たするつぼに埋葬され、酸素の浸潤を減らすために加熱された。彼らは、窒化シリコンと呼ばれる製品を報告しましたが、その化学組成を理解できませんでした。 1879年、ポール・シュエッツェンバーガーはシリコンとライニング（るつぼ、石炭、またはコーラと粘土と混合することで得られるペースト）を混合し、爆風炉で加熱し、Si3N4の組成を含む化合物として報告しました。 1910年、Ludwig WeissとTheodor Engelhardtは純粋な窒素でシリコンを加熱してSi3N4を取得しました。 1925年、フリーデリッヒとシッティグは、炭酸シリコンと炭素を窒素雰囲気で1250-1300程度まで炭素と炭素を熱しに使用して、窒素シリコンを合成しました。
窒化シリコンは真剣に受け止められておらず、窒化シリコンの商業用途が出現するまで何十年も研究しました。 1948年から1952年まで、ニューヨークのナイアガラ滝近くのアチソンのダイヤモンドカンパニーは、窒化シリコンの製造と使用に関するいくつかの特許を登録しました。 1958年、ユニオンカーバイドが生産する窒化シリコンを使用して、溶けた金属のための熱電対チューブ、ロケットノズル、るつぼを製造しました。英国の窒化シリコンに関する研究は、ガスタービンの高温部品を作る目的で1953年に始まりました。これにより、結合された窒化シリコンとホットプレス窒化シリコンの発達が発生しました。 1971年、米国国防総省の下での防衛先進研究プロジェクト局は、2つのセラミックガスタービンを開発するために、フォードとウェスティングハウスと1,700万ドルの契約を締結しました。
窒化シリコンの特性は長い間知られていますが、地球上に自然に存在する窒化シリコン（サイズは約2×5µm）は、1990年代までmet石では発見されませんでした。自然界で見つかったこのタイプの窒化シリコン鉱石は、質量分析研究の先駆者であるアルフレッドオットーカールニーアに敬意を表して「ニエライト」と名付けられています。しかし、このタイプの窒化シリコン鉱石は、以前に旧ソビエト連邦のアゼルバイジャンのmet石で発見された可能性があるという証拠があります。窒化シリコン鉱物を含むmet石も、中国のギツホウ州で発見されています。地球上のmet石に存在することに加えて、窒化シリコンは宇宙の宇宙塵にも分布しています。
